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光罩清洗機
PRODUCTS INFORMATION
光罩清洗機
1. 光罩尺寸：7"x7", 9"x9", 14"x14"
2. 清洗方式：化學液滴洗(離心力)+高壓純水掃洗
3. 使用藥液：雙氧水+硫酸，介面活性劑+氨水混合，丙酮(IPA)
4. 輔助清洗方式：Megasonic cleaning
5. 高壓噴洗：200psi ~ 1500psi
6. 乾燥方式：離心力旋乾+氮氣噴俎
7. 靜電消除：靜電消除器