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光罩清洗机
PRODUCTS INFORMATION
光罩清洗机
1. 光罩尺寸：7"x7", 9"x9", 14"x14"
2. 清洗方式：化学液滴洗(离心力)+高压纯水扫洗
3. 使用药液：双氧水+硫酸，界面活性剂+氨水混合，丙酮(IPA)
4. 辅助清洗方式：Megasonic cleaning
5. 高压喷洗：200psi ~ 1500psi
6. 干燥方式：离心力旋干+氮气喷俎
7. 静电消除：静电消除器