首頁 » 產品項目 » 濕式蝕刻製程設備
濕式蝕刻製程設備
PRODUCTS INFORMATION
6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 複槽式手動傳輸WET BENCH
1. 氨水+雙氧水+DIW,鹽酸+雙氧水+DIW,氫氟酸,鹽酸,硫酸+雙氧水,BOE 槽
2. 快排清洗,溢流清洗
3. 旋乾機
4. 選項： 抖動裝置
晶圓轉動裝置
空氣清淨過濾裝置
超音波清洗功能
線上石英加熱器
循環過濾功能
化學藥液緩衝儲槽及加藥補藥裝置