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濕式蝕刻製程設備
PRODUCTS INFORMATION
8” WAFERx2cassette 複槽式自動傳輸WET BENCH
DEMO Video
1. 上貨區(濕進/乾進)
2. 氨水+雙氧水+DIW,鹽酸+雙氧水+DIW,氫氟酸,鹽酸,BOE
3. 快排清洗,溢流清洗
4. 旋乾機
5. 下貨區(乾出)
6. 選項： 空氣清淨過濾裝置
超音波,Megasonic 清洗
線上石英加熱器
循環過濾裝置
化學藥液緩衝槽及加藥補藥裝置
即時錄影裝置
SECS/GEM