芯片制程机台:SC1, SC2, BOE, SPM

湿式蚀刻制程设备

PRODUCTS INFORMATION

1. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸+盐酸,硫酸+双氧水,BOE槽 2. 快排清洗,溢流清洗
3. 选项：	旋干机抖动装置晶圆转动装置空气清净过滤装置超音波清洗装置在线石英加热器槽内石英加热器循环过滤装置化学药液缓冲槽及加药补药装置 SECS/GEM