6” WAFERx2cassette /8”x1 cassette 复槽式手动传输WET BENCH

湿式蚀刻制程设备

PRODUCTS INFORMATION

1. 氨水+双氧水+DIW,盐酸+双氧水+DIW,氢氟酸,盐酸,硫酸+双氧水,BOE 槽 2. 快排清洗,溢流清洗 3. 旋干机
4. 选项：	抖动装置晶元转动装置空气清净过滤装置超音波清洗功能在线石英加热器循环过滤功能化学药液缓冲储槽及加药补药装置